# 工艺
FMTM 胖蚊高精制造 计划的工艺


## FMTM-100c

+ 工艺类型: 100nm CMOS 工艺

+ 主要技术: 电子束直写式光刻

+ 支持的晶圆直径: 1 英寸 (25mm), 2 英寸 (50mm)

+ 主要设计目标:

  - 低成本: 目标设备总成本 10 万以内
    (不含各种耗材, 允许使用二手设备和零配件)

    量产成本可能显著高于主流代工厂,
    此处追求的是单次定制 (流片) 成本.

  - 低工艺复杂度 (不考虑量产)

  - 减少设备数量, 减小占地面积:
    目标总占地面积 100m2 以下,
    能够在单个 FMCB-1 胖蚊云端基地 内实现完整工艺
  
  - 高度自动化/无人化:
    配合 FMRA-1 胖蚊遥铠, 实现超净环境完全无人进入,
    避免人体作为巨型污染源


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